LINTEC作為流量和流體控制設(shè)備制造商，為客戶提供從氣體面板到流體供給設(shè)備的多種產(chǎn)品定制服務(wù)。

LVS系列

LVS 系列是一款搭載液體質(zhì)量流量側(cè)量計(jì)和汽化器的精密型液體汽化供給整合裝置。該設(shè)備擁有與液體物理性質(zhì)相匹配的流程系統(tǒng)，相比鼓泡設(shè)備相比汽化供給更加穩(wěn)定，相較于烘烤設(shè)備，擁有更大流量，且可以在常壓條件下使用。

特點(diǎn)

• 只需連接至各種設(shè)備后便可立即使用的一體化設(shè)計(jì)

• 根據(jù)使用條件，可適用各種液體、流量規(guī)格

• 利于保養(yǎng)的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)，簡(jiǎn)潔清潔

• 內(nèi)置各種安全警報(bào)設(shè)定功能

用途

LVS系列設(shè)備主要用于各種液體材料的研發(fā)。主要為CVD(化學(xué)氣相沉積)提供薄膜沉積過(guò)程中所需液體材料的汽化供給。

直接汽化方式流程圖

液體原料舉例

C2H5OH / C6H14 / C6H14 / C6H14O3 / C14H32OSi / (CH3CH2)2NH / H2O / HMDS / HMDSO / SiCl4 / TEOS / TiCl4 / 丙烯酸

※除上述液體之外，其他液體也可根據(jù)條件對(duì)應(yīng)。請(qǐng)直接致電或郵件咨詢LINTEC。

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

※圖片僅供參考。

選配規(guī)格

為滿足客戶需求，我們提供各種變更或追加產(chǎn)品規(guī)格的定制服務(wù)。

例如：EP管變更，追加氣體檢測(cè)儀、加熱過(guò)濾器(VF Series)等，以及本地控制面板變更等服務(wù)。

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