LINTEC作為流量和流體控制設備制造商，為客戶提供從氣體面板到流體供給設備的多種產品定制服務。

LVS系列

LVS 系列是一款搭載液體質量流量側量計和汽化器的精密型液體汽化供給整合裝置。該設備擁有與液體物理性質相匹配的流程系統，相比鼓泡設備相比汽化供給更加穩(wěn)定，相較于烘烤設備，擁有更大流量，且可以在常壓條件下使用。

特點

• 只需連接至各種設備后便可立即使用的一體化設計

• 根據使用條件，可適用各種液體、流量規(guī)格

• 利于保養(yǎng)的設計結構，簡潔清潔

• 內置各種安全警報設定功能

用途

LVS系列設備主要用于各種液體材料的研發(fā)。主要為CVD(化學氣相沉積)提供薄膜沉積過程中所需液體材料的汽化供給。

直接汽化方式流程圖

液體原料舉例

C2H5OH / C6H14 / C6H14 / C6H14O3 / C14H32OSi / (CH3CH2)2NH / H2O / HMDS / HMDSO / SiCl4 / TEOS / TiCl4 / 丙烯酸

※除上述液體之外，其他液體也可根據條件對應。請直接致電或郵件咨詢LINTEC。

標準規(guī)格

※圖片僅供參考。

選配規(guī)格

為滿足客戶需求，我們提供各種變更或追加產品規(guī)格的定制服務。

例如：EP管變更，追加氣體檢測儀、加熱過濾器(VF Series)等，以及本地控制面板變更等服務。