瞬間高效率流體加熱技術(shù)產(chǎn)品HX系列。
可加熱各種流體
瞬間且穩(wěn)定的流體加熱
質(zhì)量流量控制器(MFC)輸出端的氣體加熱
該系列加熱器搭載SUS316L不銹鋼材質(zhì)的加熱模塊，加熱部分與流體不直接接觸，可以瞬間加熱沒有腐蝕性的流體。
在配管中流動的氣體具有很難被加熱和冷卻的特點。
通常，配管中的流體通過配管外部的帶狀加熱器加熱。但這種方式存在缺點，即難以使熱量傳遞到中心部位。HX系列熱交換器可以將熱量瞬間傳遞到流體中心，從而達到穩(wěn)定加熱的目的。
在半導(dǎo)體制造工藝中，不僅需要對氣體進行加熱處理，氣體還需要在加熱前接受流量控制。為了在加熱器的輸入端設(shè)置質(zhì)量流量控制器以控制流量，加熱器(輸出端)則需采用低壓降結(jié)構(gòu)。LINTEC研發(fā)的HX系列加熱器具備低壓降結(jié)構(gòu)，適合與質(zhì)量流量控制器輸出端連接使用。
加熱器與過濾精度達 0.1μm的過濾器同時搭載。
該系列可用于半導(dǎo)體制造工藝中的液化氣體過濾，接觸氣體部分材完全采用SUS316L不銹鋼材質(zhì)。該系列還搭載了LINTEC研發(fā)的低壓損結(jié)構(gòu)。
0.1μm 的過濾精度
*使用溫度達200℃
全金屬無塵構(gòu)造
VF-0201N
該系列過濾器可安裝在汽化系統(tǒng)后方，用于消除可能導(dǎo)致產(chǎn)品缺陷的微粒及霧狀物。
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