SMC高純度用 一段式小型減壓閥AP501S2PWFV4FV4

適用于半導體產(chǎn)業(yè)等高純度的氣體供給

閥體材質(zhì): SUS316L 二次熔煉或SUS316L

接氣部電解拋光處理

外部間隙密封構(gòu)造

?B2H6氣缸應用的調(diào)節(jié)器

?SS 316L VAR次要機架結(jié)構(gòu)

?表面粗糙度15 Ra max / 10 Ra avg（10、7和5 Ra max選項）

?真空至3500 psig（241 bar）入口； HR選項為4,500 psig（310 bar）

?高流量HF選件

?兩級減壓消除了供應壓力的影響

?旋鈕LOTO選項

設定壓力 01 0.0034～0.07 MPa;負壓調(diào)整規(guī)格(A):-88kPa~0.07MPa

材質(zhì) S 閥體:SUS316L 二次熔煉,閥芯:SUS316L,膜片:Ni-Co合金,孔口:SUS316L

內(nèi)面粗糙度 - 0.4μm(標準)

負壓調(diào)整 - 標準

通口數(shù) 2PW 2通口

配管連接方式(進口側(cè)①) FV4 1/4端面密封接頭 內(nèi)螺紋

配管連接方式(出口側(cè)②) FV4 1/4端面密封接頭 內(nèi)螺紋

壓力表通口(出口側(cè)③) - 無表通口

壓力表表示 - psig/bar

閥座材質(zhì) - PCTFE(標準)

可選項1 - 標準

可選項2 - 標準

膜片材質(zhì) Elgiloy

孔口材質(zhì) SUS316L

Cv值 0.06

使用流體 不腐蝕接氣體部材質(zhì)的流體

環(huán)境溫度 -40~71 ℃

使用流體溫度 -40~71 ℃

耐壓力 3.4 MPa

安裝方式 底面安裝

內(nèi)部容積 2.4 cm3

SMC高純度用 一段式小型減壓閥AP501S2PWFV4FV4