N90 系列六自由度并聯(lián)機構,是 θx、θy、θz、X、Y、Z 六軸運動工作臺,通過六支壓電促動器的協(xié)調(diào)伸縮實現(xiàn)空間內(nèi)六個自由度的運動,臺體結構緊湊,三種規(guī)格型號可供選擇,閉環(huán)型號定位精度高,是六自由度微操作、微電子精密加工等應用的*。
特點:
? 六軸 θx、θy、θz、X、Y、Z
? 閉環(huán)定位精度高
? 小耦合
? 誤差無積累
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N90 系列六自由度并聯(lián)機構,是 θx、θy、θz、X、Y、Z 六軸運動工作臺,通過六支壓電促動器的協(xié)調(diào)伸縮實現(xiàn)空間內(nèi)六個自由度的運動,臺體結構緊湊,三種規(guī)格型號可供選擇,閉環(huán)型號定位精度高,是六自由度微操作、微電子精密加工等應用的*。
特點:
? 六軸 θx、θy、θz、X、Y、Z
? 閉環(huán)定位精度高
? 小耦合
? 誤差無積累